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大同IPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列

大同IPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列

  • 所屬分類:大同真空泵
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  • 發(fā)布時間:2021-11-08 20:15:53
  • 產(chǎn)品概述

IPH半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列


用途:

Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD,PECVD,LPCVD,ALD


特點:

IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。

它優(yōu)良的性能原自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和優(yōu)越的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計。


漢鐘獨特型線設(shè)計,上海,臺灣,制造。

較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式。

帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。

優(yōu)化的尺寸,即插即用。


本文網(wǎng)址:http://hebhec.cn/product/844.html
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